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薄膜的分類

膜的種類 特????????? ????? 性 用??????????????? 途
減反射膜 在窄波段或寬波段范圍具有很低的殘余反射,例如,窄波段上殘余反射<0.1%,寬波段上平均殘余反射<0.3%。 ?降低各種折射率光學表面的反射率,以用于激光波長等單色光源或白光光源的各種光學系統(tǒng)中。常用的3層或4層膜可覆蓋可見光區(qū),更寬博得的減反射涉及制備都較困難。
反射膜 有金屬反射膜、金屬介質反射膜和全介質反射膜。金屬反射膜雖有寬帶反射特性,但因吸收而反射率較低,常見金屬反射鏡的反射率為90%左右,而介質反射膜反射率可達99.8%左右,但反射帶窄。 視反射帶寬、反射率、牢固度及成本選擇不同的反射膜,以提高光學器件的反射率。金屬反射鏡常用于帶寬反射,但反射率要求不高的場合;全介質反射鏡常用于激光技術等極高反射的場合。
帶通濾光片 有金屬帶通濾光片、金屬介質組合帶通濾光片、全介質帶通濾光片和誘導投射帶通濾光片等;這些帶通濾光片又分單腔、雙腔和多腔。主要指標有峰值波長、最大透射率、半寬度、波形洗漱、介質帶寬和截止深度等。 ?金屬帶通濾光片層數(shù)少、制備簡單、截止帶寬,但峰值透射低(如30%)、截止差(如0.5%),常用于要求不高的場合 ;全介質帶通濾光片峰值透射高,截止深,被廣泛應用,但截止帶寬,需用顏色玻璃嗯哼截止濾光片展寬;金屬介質帶通濾光片介于其中,誘導透射帶通濾光片截止寬且透射率較高,具有某些特殊應用。
截止濾光片 有長波通、短波通二種截止濾光片,典型的膜系分別為(0.5HL0.5H)P和(0.5LH0.5L)P,主要指標有截止度、截止帶寬、陡度、50%T波長,通帶透射率及波紋。 用于分離二個波段,故又稱二向色鏡。在分色、合色,隔紫外、隔紅外燈場合廣泛應用。
偏振膜 有平板偏振模和立方棱鏡偏振模兩種。前者基于傾斜入射光的p-和s-分量的有效折射率不一樣而造成帶寬不同,因而偏振帶較窄;后者基于所有界面均滿足布儒斯特角條件,偏振帶寬較大,且消光可高達2000以上。 平板偏振膜不需要膠合,在基板的布儒斯特角條件下使用,常用于強激光系統(tǒng)中。立方棱鏡偏振模需要膠合,膜被膠在里面,穩(wěn)定性高,由于偏振帶寬,且偏振度高,故在液晶顯示技術等領域廣泛應用。

消偏振膜

有金屬型消偏振膜和全介質消偏振膜之分,又有消偏振分光膜和消偏振截止濾光片。所謂消偏振,就是在傾斜入射時,要求一定波段內(nèi)p-和s-分量的透射或反射相同。 消偏振膜廣泛應用于諸如VCD、DVD讀出頭和Philips棱鏡等各種場合。由于設計、制備難度較高,特別是全介質消偏振分光鏡由于難度高而常用金屬型消偏振膜代替,但金屬型常有一定的吸收損失。

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